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申请/专利权人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种光学部件，其具备：单层基板，具有使光透过的多个贯通孔；及防反射结构，形成于贯通孔的内壁面的至少一部分且包括条纹状的多个槽。
主权项：1.一种光学部件用多孔板的制造方法，所述多孔板具有以等间隔二维排列、将所入射的光作为平行光而射出的多个贯通孔，该制造方法依次具备如下工序A至E：工序A：基板准备工序，准备作为单个部件的由硅构成的单层基板，工序B：微细凹凸结构形成工序，在所述基板的表面和背面中的至少一个面上形成具有防反射功能的微细凹凸结构；及工序C：掩模形成工序，在所述微细凹凸结构上形成具有开口图案的掩模，工序D：干式蚀刻工序，通过干式蚀刻在所述基板的一面形成与所述掩模的开口图案相对应的多个透光贯通孔的同时，在所述贯通孔的内壁面的至少一部分形成防反射结构，该防反射结构为与所述微细凹凸结构的凹凸相对应的、平均周期为光的波长λ以下且凹深度为光的波长λ4以上的条纹状的槽，所述槽至少包括沿所述贯通孔的深度方向的条纹状的多个第一槽，以及工序E：掩模去除工序，去除在工序D后所残留的掩模，其中，所述光学部件用多孔板的制造方法不具有将所述基板弯折的工序。
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