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申请/专利权人：戴尔米克知识产权私人有限公司
摘要：本发明涉及一种用于微加工样品的设备和方法。该设备包括以下各项的整体组合：样品保持器、用于将聚焦离子束投射到样品上的第一位置上的聚焦离子束曝光系统和光学显微镜，其中光学显微镜被配置用于成像或监测所述第一位置。该方法包括以下步骤：捕获样品的光学显微镜图像；基于光学显微镜图像确定样品中的感兴趣区域的位置和物理维度；从光学显微镜图像建立样品保持器和或聚焦离子束曝光系统的设置，用于微加工样品，以使感兴趣区域更靠近表面，并相应地移动样品或聚焦离子束的轨迹以定位样品上的第一位置；以及激活聚焦离子束以对样品进行微加工。
主权项：1.一种使用用于微加工样品20，120的设备1，101对样品进行微加工的方法，其中所述设备1，101包括以下各项的整体组合：用于保持样品20，120的样品保持器2，102；聚焦离子束曝光系统，其包括用于将聚焦离子束30，130投射到第一位置31，131上的组件，在使用中所述聚焦离子束30，130在所述第一位置中撞击在由样品保持器2，102保持的样品20，120上；以及光学显微镜，其中所述光学显微镜被配置用于对样品保持器2，102上的样品20，120进行成像或监测；其中所述方法包括以下步骤：捕获由样品保持器2，102保持的样品20，120的一个或多个光学显微镜图像；基于所述一个或多个光学显微镜图像确定所述样品20，120中的感兴趣区域21，41，51的位置和物理维度；从所述一个或多个光学显微镜图像建立所述样品保持器2，102和或所述聚焦离子束曝光系统的设置，用于微加工所述样品20，120，以从样品20，120的表面移除材料，从而减小所述感兴趣区域21，41，51的至少一部分与所述样品20，120的表面之间的距离或产生体现所述感兴趣区域21，41，51的至少一部分的薄片22，42，52，所述样品保持器2，102的设置包括用于定位样品的样品保持器的位置坐标，以便允许将聚焦离子束施加在样品上的期望的和或预定的位置处；以及根据用于微加工样品20，120的设置来激活所述聚焦离子束曝光系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 戴尔米克知识产权私人有限公司 使用聚焦离子束对样品进行微加工的方法和设备
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