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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供载置台的温度控制方法，其为进行能够载置基片的载置台的温度控制的方法，上述载置台的基片载置面被划分为多个区域，对上述多个区域分别设置加热器，上述载置台的温度控制方法包括以下步骤，即：对上述基片载置面中的上述多个区域中的最中心的区域，进行调节该最中心的区域的上述加热器的操作量以成为设定温度的反馈控制；和对上述基片载置面中的上述多个区域中的比上述最中心的区域靠外侧的区域，进行调节该外侧的区域的上述加热器的操作量，以使得该外侧的区域与和该外侧的区域的径向内侧相邻的区域的温度差成为预先设定的值的反馈控制。
主权项：1.一种能够载置基片的载置台的温度控制方法，其特征在于：所述载置台的基片载置面被划分为2个区域，对所述2个区域分别设置有加热器，所述载置台的温度控制方法包括以下步骤，即：对所述基片载置面的所述2个区域中的中心的区域，进行调节该中心的区域的所述加热器的操作量以使该中心的区域成为设定温度的反馈控制；和对所述基片载置面的所述2个区域中的比所述中心的区域靠外侧的区域，进行调节该外侧的区域的所述加热器的操作量，以使该外侧的区域与所述中心的区域的温度差成为预先设定的值的反馈控制，在进行调节所述中心的区域的所述加热器的操作量的反馈控制的步骤和进行调节所述外侧的区域的所述加热器的操作量的反馈控制的步骤中，使用设置于所述载置台且具有供致冷剂流动的流路的冷却部，来冷却所述载置台的所述基片载置面，所述外侧的区域在周向上被划分出多个区域，在所述冷却部连接有对所述冷却部进行所述致冷剂的供给或排出的端口，所述外侧的区域的所述多个区域之中的靠近所述端口的区域的所述预先设定的值与其他区域的所述预先设定的值不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 载置台的温度调节方法、检查装置和载置台
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