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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：提供一种部分松开检测系统并且其包括发光电路、分光计和系统控制器。所述发光电路被配置为在将衬底静电地夹紧在衬底处理系统的静电卡盘上的同时朝所述衬底的区域发射光。所述分光计被配置为检测从所述衬底反射的光并基于所检测到的光产生第一输出信号。所述系统控制器被配置为检测所述第一输出信号的变化，检测供应到所述衬底的背面的气体的流率的变化，以及基于所述第一输出信号的变化和所述流率的变化两者，确定是否已经发生了所述衬底的部分松开事件。
主权项：1.一种部分松开检测系统，其包括：发光电路，其被配置为在将衬底静电地夹紧在衬底处理系统的静电卡盘上的同时朝所述衬底的区域发射光；分光计，其被配置为检测从所述衬底反射的光并基于所检测到的光产生第一输出信号；和系统控制器，其被配置为检测所述第一输出信号的变化，检测供应到所述衬底的背面的气体的流率的变化，以及基于所述第一输出信号的变化和所述流率的变化两者，确定是否已经发生了所述衬底的部分松开事件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 从衬底处理系统的ESC中检测衬底的部分松开
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