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控制装置 

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申请/专利权人:住友重机械工业株式会社

摘要:本发明提供一种能够提高由滑阀式流量控制阀供给或排出气体的控制对象的可控性的技术。控制装置控制滑阀式流量控制阀向控制对象供给气体或从控制对象排出气体时的流量从而将该控制对象的控制量控制至目标值。控制装置具备:控制器,根据目标值生成滑阀式流量控制阀的阀芯位置指令;及非线性补偿器,对所生成的阀芯位置指令适用用于线性补偿滑阀式流量控制阀的非线性的流量特性的校正,并将其输出至滑阀式流量控制阀。

主权项:1.一种控制装置,其控制滑阀式流量控制阀向控制对象供给气体或从控制对象排出气体时的流量从而将该控制对象的控制量控制至目标值,所述控制装置的特征在于,具备:控制器,根据目标值生成所述滑阀式流量控制阀的阀芯位置指令;及非线性补偿器,对所生成的阀芯位置指令适用校正,该校正为对所述滑阀式流量控制阀的非线性的流量特性的线性补偿校正,并将其输出至所述滑阀式流量控制阀,所述滑阀式流量控制阀的阀芯的行程范围内的包括中立位置在内的中央范围内的阀芯位置指令和与所述中央范围相邻的邻接范围内的阀芯位置指令适用不同的校正。

全文数据:

权利要求:

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