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申请/专利权人：艾生科(江苏)化工科技有限公司

摘要：本发明属于CVD镀膜技术领域，公开了一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置，包括控制箱，控制箱的一侧设置有镀膜箱，镀膜箱内部开设有镀膜腔，镀膜腔底部固定安装有第一电机，第一电机输出端固定连接有转动轴，转动轴顶部固定连接有转动盘，转动盘顶部转动连接有转动杆，转动杆顶部固定安装有第二电机，第二电机底部且位于转动杆外表面连接有安装盘。通过转动盘带动第一支撑板与第二支撑板一侧的加热器转动，通过安装盘带动固定杆两侧的金属零件反向转动，同时使得固定板底部的两个金属零件都能够转动，从而便于单独的金属零件均能受热均匀，便于在镀膜腔内部与气体接触进行反应，便于提高镀膜的效果。

主权项：1.一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置，包括控制箱（1），其特征在于，所述控制箱（1）的一侧设置有镀膜箱（2），所述镀膜箱（2）内部开设有镀膜腔，所述镀膜腔底部固定安装有第一电机（3），所述第一电机（3）输出端固定连接有转动轴（4），所述转动轴（4）顶部固定连接有转动盘（5），所述转动盘（5）顶部转动连接有转动杆（6），所述转动杆（6）顶部固定安装有第二电机（7），所述第二电机（7）底部且位于转动杆（6）外表面连接有安装盘（8），所述安装盘（8）底部固定安装有固定杆（9），所述安装盘（8）顶部开设有第一环形槽，所述固定杆（9）底部与第一环形槽滑动连接，所述安装盘（8）顶部且位于固定杆（9）外侧固定安装有第一支撑板（10），所述第一支撑板（10）内部开设有凹槽，所述凹槽内部固定安装有第一电动推杆（11），所述第一电动推杆（11）顶部固定连接有第二支撑板（12），所述第一支撑板（10）与第二支撑板（12）靠近固定杆（9）一侧均设置有加热器（13），所述固定杆（9）外表面上下两端均固定安装有固定板（14），所述固定板（14）顶部固定连接有安装块（15），所述固定板（14）底部转动连接有两个安装座（16），所述安装块（15）内部固定安装有第三电机（17），所述第三电机（17）输出端固定连接有第一活动杆（18），所述第一活动杆（18）一端穿过安装块（15）、固定板（14）与左侧的安装座（16）固定连接，所述第一活动杆（18）外表面固定连接有第一齿轮（19），所述第一齿轮（19）外表面传动连接有皮带（20），所述皮带（20）远离第一齿轮（19）内壁传动连接有第二齿轮（21），所述第二齿轮（21）中部固定连接有第二活动杆（22），所述第二活动杆（22）一端穿过安装块（15）、固定板（14）与右侧的安装座（16）固定连接，两个所述安装座（16）内部设置有金属零件（23）。

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