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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本申请公开了一种太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池技术领域。太阳能电池的制备方法包括：在半导体衬底上形成电池功能层；采用等离子体增强原子层沉积法在电池功能层远离半导体衬底一侧形成第一透明导电层；在第一透明导电层远离电池功能层的一侧形成第一电极。根据本申请的太阳能电池的制备方法，采用等离子体增强原子层沉积工艺制备透明导电层，以取代常规TALD制备的氧化锡和磁控溅射TCO结构，简化制备工艺流程及减少了制备过程对底部电池功能层的影响，减少了寄生吸收，同时获得较高的光电性能，提高了太阳能电池的电流密度。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：在半导体衬底上形成电池功能层；采用等离子体增强原子层沉积法在所述电池功能层远离所述半导体衬底一侧形成第一透明导电层；在所述第一透明导电层远离所述电池功能层的一侧形成第一电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 太阳能电池及其制备方法
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