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申请/专利权人：中国海洋大学;青岛海研电子有限公司;厦门大学
摘要：本发明公开一种温盐深海洋柔性传感器及其制备方法，属于海洋环境监测领域。该柔性传感器包括柔性薄膜，在柔性薄膜上设置有温度传感器、盐度传感器和压力传感器；所述柔性薄膜包括底部柔性薄膜层和顶部柔性薄膜层；所述压力传感器包括底部电极、顶部电极和压力敏感单元层；在底部柔性薄膜层的顶面设置有绝缘层，所述底部电极和温度传感器均设置在绝缘层上；所述顶部电极设置在顶部柔性薄膜层的底面，在顶部柔性薄膜层和底部柔性薄膜层之间还设置有TPU油墨层；所述盐度传感器设置在顶部柔性薄膜层的顶面。本发明柔性温盐深传感器为集成化立体的传感器单元，稳定性和可靠性高，并利于与不同的平台集成，进行海洋温盐深环境监测。
主权项：1.一种温盐深海洋柔性传感器，其特征在于：包括柔性薄膜，在柔性薄膜上设置有温度传感器、盐度传感器和压力传感器；所述柔性薄膜包括底部柔性薄膜层和顶部柔性薄膜层；所述压力传感器包括底部电极、顶部电极和压力敏感单元层；在底部柔性薄膜层的顶面设置有绝缘层，所述底部电极和温度传感器均设置在绝缘层上；所述顶部电极设置在顶部柔性薄膜层的底面，在顶部柔性薄膜层和底部柔性薄膜层之间还设置有TPU油墨层，当顶部柔性薄膜层和底部柔性薄膜层通过TPU油墨层粘接在一起后，顶部电极处于底部电极的正上方，所述压力敏感单元层处于顶部电极和底部电极之间；所述顶部柔性薄膜层的宽度小于底部柔性薄膜层的宽度，顶部柔性薄膜层将压力传感器覆盖，并使得温度传感器外露；所述盐度传感器设置在顶部柔性薄膜层的顶面；在底部柔性薄膜层的底面设置有底部封装层，在顶部柔性薄膜层的顶面设置有顶部封装层，底部封装层和顶部封装层的面积均大于或等于底部柔性薄膜层的面积；在顶部封装层上且正对盐度传感器的位置处设置有通孔，以使得封装后盐度传感器外露。
全文数据：
权利要求：
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