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申请/专利权人：宁波大学

摘要：本发明公开了一种基于非高斯激光直写的形状可控铁电畴加工装置及方法，加工装置包括飞秒激光器、扩束系统、光束整形系统、激光功率调节系统、电子快门、二向色镜、CCD检测系统、物镜系统、三维移动平台、照明光源和计算机，扩束系统由第一透镜和第二透镜组成，光束整形系统包括反射型空间光调制器和由第三透镜和第四透镜组成的聚焦系统，激光功率调节系统包括半波片和偏振片，物镜系统包括物镜架和聚焦物镜，CCD检测系统包括滤波片、第五透镜和CCD相机。本发明使用非高斯光束进行加工，减少激光在晶体内部造成损伤的可能性，并通过对激光光束进行整形，改变激光在晶体内部形成的热电场分布，从而控制铁电畴截面形状，以提高非线性过程的转换效率。

主权项：1.一种基于非高斯激光直写的形状可控铁电畴加工装置，其特征在于，包括飞秒激光器、扩束系统、光束整形系统、激光功率调节系统、电子快门、二向色镜、CCD检测系统、物镜系统、三维移动平台、照明光源和计算机，所述的扩束系统由两个焦距分别为50mm和100mm的第一透镜和第二透镜组成，所述的光束整形系统包括反射型空间光调制器和聚焦系统，所述的聚焦系统由两个焦距分别为150mm和50mm的第三透镜和第四透镜组成，所述的激光功率调节系统包括半波片和偏振片，所述的物镜系统包括物镜架和安装在物镜架上的聚焦物镜，所述的CCD检测系统包括依次布设在所述的二向色镜的正上方的滤波片、第五透镜和CCD相机，所述的飞秒激光器、第一透镜、第二透镜、反射型空间光调制器、第三透镜、第四透镜、半波片、偏振片、电子快门、二向色镜、聚焦物镜和三维移动平台沿主光路方向依次布设，所述的反射型空间光调制器、电子快门、三维移动平台和CCD相机分别与所述的计算机相连，所述的飞秒激光器用于发射波长为800nm、脉冲持续时间为140fs、重复频率为80MHz的高斯光束，所述的光束整形系统用于将所述的飞秒激光器发射的高斯光束整形为非高斯光束，所述的激光功率调节系统用于将非高斯光束的功率调节至100mW以下，所述的三维移动平台用于固定待加工晶体，所述的CCD检测系统用于检测非高斯光束是否聚焦于待加工晶体的中心位置，所述的照明光源设于所述的三维移动平台的下方，所述的照明光源发出的光源依次经待加工晶体、二向色镜、滤波片、第五透镜在CCD相机上成像。

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百度查询： 宁波大学 基于非高斯激光直写的形状可控铁电畴加工装置及方法