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一种芯片反向键合双植球工艺 

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申请/专利权人:江苏友润微电子有限公司

摘要:本发明公开了芯片制造技术领域内的一种芯片反向键合双植球工艺,包括以下步骤,步骤1,准备工作;步骤2,金球形成并切断金丝;步骤3,第一焊点形成;步骤4,线弧牵引;步骤5,第二焊点形成;步骤6,金丝切断;步骤7,质量检测。采用反向键合双植球技术,先由劈刀在芯片表面植球,然后调转劈刀到引脚上进行植球并反向拉升搭建线弧平台,最终键合在芯片表面的焊球上,本技术使引脚上的焊接更加稳固,不受引脚问题而易脱落,且线弧更加稳定不易弯曲,避免对后续工序产生干扰,提高产品质量。

主权项:1.一种芯片反向键合双植球工艺,其特征在于:包括以下步骤,步骤1,准备工作;步骤2,金球形成并切断金丝;步骤3,第一焊点形成;步骤4,线弧牵引;步骤5,第二焊点形成;步骤6,金丝切断;步骤7,质量检测。

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