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一种高纯度甲基二氯硅烷的制备方法 

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申请/专利权人:武汉新硅科技潜江有限公司

摘要:本发明公开了高纯度甲基二氯硅烷的制备方法,包括以下步骤:S1、将工业级甲基二氯硅烷加入第一精馏塔,进行精馏脱重处理,得到的产物从塔顶引出;S2、将步骤S1中的产物引入冷凝器,随后进行第二精馏塔,进行脱轻处理,得到脱轻处理产物,将脱轻处理产物引入吸附罐,进行杂质吸附,吸附完成后进入成品收集罐,即得所述高纯度甲基二氯硅烷;其中所述吸附罐内装有改性吸附剂。本发明通过将工业甲基二氯硅烷进行精馏法和吸附法联合除杂,克服单独精馏法对微量杂质难以脱除的问题,使甲基二氯烷硅产品达到很高的纯度,从而得到电子级甲基二氯烷硅,即纯度达99.99%以上的产品。

主权项:1.一种高纯度甲基二氯硅烷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、将工业级甲基二氯硅烷加入第一精馏塔,进行精馏脱重处理,得到的产物从塔顶引出;S2、将步骤S1中的产物引入冷凝器,随后进行第二精馏塔,进行脱轻处理,得到脱轻处理产物,将脱轻处理产物引入吸附罐,进行杂质吸附,吸附完成后进入成品收集罐,即得所述高纯度甲基二氯硅烷;其中所述吸附罐内装有改性吸附剂。

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权利要求:

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