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一种紫外激光器 

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申请/专利权人:武汉华日精密激光股份有限公司

摘要:本发明涉及一种紫外激光器,包括基体、安设于基体上的光学腔体、泵浦源和紫外激光发生机构,紫外激光发生机构设置于光学腔体内,于基体上设有用于对光学腔体进行冷却的第一冷却单元;紫外激光发生机构还配置有调Q驱动器,调Q驱动器以及泵浦源均安设于基体上、位于光学腔体外并且与紫外激光发生机构连接,于基体上设有用于对调Q驱动器和泵浦源进行冷却的第二冷却单元。本发明中,调Q驱动器和泵浦源设于光学腔体之外,可以实现光学腔体与其他热源的热隔离,减小这些热源对光学腔体的热影响,有效地提高紫外激光发生机构的工作稳定性,有利于提高风冷紫外激光器的应用范围;可以对光学腔体、调Q驱动器和泵浦源进行分区控温,能够节约能耗。

主权项:1.一种紫外激光器,其特征在于,包括基体、光学腔体、泵浦源和紫外激光发生机构,所述光学腔体安设于所述基体上,所述紫外激光发生机构设置于所述光学腔体内,于所述基体上设有用于对所述光学腔体进行冷却的第一冷却单元;所述紫外激光发生机构还配置有调Q驱动器,所述调Q驱动器以及所述泵浦源均安设于所述基体上、位于光学腔体外并且与所述紫外激光发生机构连接,于所述基体上设有用于对所述调Q驱动器和所述泵浦源进行冷却的第二冷却单元。

全文数据:

权利要求:

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