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氦检工装及氦检装置 

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申请/专利权人:厦门恒创伟业科技有限公司

摘要:本发明提供了一种氦检工装及氦检装置,氦检工装包括转盘组件和摆臂组件;转盘组件具有转盘,转盘上具有沿周向分布的多个检测通道,各检测通道上适于放置待测件;摆臂组件具有支架和周向分布在支架上的多个氦检腔体,支架可转动,支架的转速在与转盘差速运动和与转盘同步运动之间可切换;在同步运动阶段,各氦检腔体与其投影重合的各检测通道上的待测件一一对应,各第一腔体与各第二腔体相互靠近以罩住其对应的待测件并封盖其对应的检测通道的出气口而进行氦检,在差速运动阶段,转盘的各检测通道上适于接收待测件。如此利用两轴差动的氦检工装实现上料无需停止等待检测,可大大提高设备运转效率,提高检测效率。

主权项:1.一种氦检工装,其特征在于,包括:转盘组件和摆臂组件;所述转盘组件具有绕其中心轴线可转动的转盘,所述转盘上具有沿周向分布的多个检测通道,各所述检测通道的进气口上适于放置待测件;所述摆臂组件具有支架和周向分布在支架上的多个氦检腔体,所述支架设置在所述转盘的轴向上的至少一侧且可转动,所述支架的转速在与所述转盘差速运动和与所述转盘同步运动之间可切换;各所述氦检腔体均包括能相互靠近或远离的第一腔体和第二腔体,在同步运动阶段,各所述氦检腔体与其投影重合的各检测通道上的待测件一一对应,各所述第一腔体与各所述第二腔体相互靠近以罩住其对应的待测件并封盖其对应的检测通道的出气口而进行氦检,在差速运动阶段,所述转盘的各所述检测通道上适于接收待测件。

全文数据:

权利要求:

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