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申请/专利权人：苏州泰科贝尔直驱电机有限公司
摘要：本发明公开了一种精密气浮机构和气浮滑台，气浮机构包括安装平台、气路系统和驱动控制系统，安装平台上设有运动平台，安装平台上设有Y轴方向的气浮导轨；气浮单元包括与气浮导轨配合的气浮滑块，气浮导轨靠近气浮滑块的一侧具有导向结构一，气浮滑块上设有与导向结构一的形状相互匹配的导向结构二，导向结构一和导向结构二之间能形成气膜间隙层，导向结构一垂直于Y轴方向的横截面为A，A的宽度沿着Z轴方向逐渐增加或减小。本发明可在垂向负载发生变化时实现自动定心，确保导向精度，能够弱化运动平台因电机发热产生热变形对运动精度造成不良影响，可弱化因垂向负载变化对气膜间隙的影响；可以施加可调节的预载力，使气膜间隙保持在理想状态。
主权项：1.一种精密气浮机构，包括安装平台（1）、能够沿Y轴方向往复平移的运动平台（2）、气路系统和驱动控制系统，其特征在于：所述安装平台（1）上设置有Y轴方向的气浮导轨（101），所述运动平台（2）通过气浮单元（3）与所述气浮导轨（101）滑动设置，所述气浮单元（3）设置在所述运动平台（2）上；所述气浮单元（3）包括与所述气浮导轨（101）配合设置的气浮滑块（302），所述气浮滑块（302）位于所述气浮导轨（101）的上方，所述气浮滑块（302）与所述气路系统相连；所述气浮导轨（101）靠近所述气浮滑块（302）的一侧具有导向结构一，所述气浮滑块（302）上设置有与所述导向结构一的形状相互匹配的导向结构二，在所述导向结构一和导向结构二之间能形成气膜间隙层，所述导向结构一在垂直于Y轴方向的横截面为A，所述A的宽度沿着Z轴方向逐渐增加或减小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州泰科贝尔直驱电机有限公司 一种精密气浮机构和气浮滑台
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