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申请/专利权人：洛阳中硅高科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种用于电子级多晶硅还原炉的石墨组件，应用于电子级多晶硅制造技术领域。所述组件包括基座，所述基座设置有电极安装孔；所述基座设置有横向置换孔；所述基座设置有第一纵向置换孔；所述基座和硅棒支撑帽螺纹连接；所述基座和硅芯夹持体螺纹连接，所述硅芯夹持体设置有硅芯安装孔；所述硅芯夹持体设置有第二纵向置换孔。以此方式，可以提高对硅芯夹持以及后续硅棒生长的稳定性，同时能够有效提高配件密闭空间的空气置换效率。
主权项：1.一种用于电子级多晶硅还原炉的石墨组件，其特征在于，包括：基座1，所述基座1设置有电极安装孔2；所述基座1设置有横向置换孔3；所述基座1设置有第一纵向置换孔4；所述基座1和硅棒支撑帽5螺纹连接；所述基座1和硅芯夹持体6螺纹连接，所述硅芯夹持体6设置有硅芯安装孔7；所述硅芯夹持体6设置有第二纵向置换孔8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 洛阳中硅高科技有限公司 一种用于电子级多晶硅还原炉的石墨组件
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