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高压缩、抗氧化的碳化钛柔性压力传感器及其制备和应用 

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申请/专利权人:南京邮电大学

摘要:本发明公开一种高压缩、抗氧化的碳化钛柔性压力传感器及其制备和应用,属于柔性传感设备技术领域。先通过S键合Ti3C2纳米片构建大尺寸、褶皱Ti3C2(TS)并配置为TS墨水,再利用微电子打印技术制备AgTSAg柔性压力传感器。TS微结构的引入增加了传感层的压缩空间和形变能力,提高接触位点变化,提升了器件灵敏度,TS柔性压力传感器的灵敏度(7.8kPa‑1)约为Ti3C2柔性压力传感器的5倍,且其器件响应时间短(50ms),最低检测限仅0.2Pa,能稳定循环,性能优异;而基于S离子边缘封端覆盖,器件不易氧化,稳定性提升。将该传感器应用于无线睡眠呼吸监测中,可实现不同呼吸状态的精准监测。

主权项:1.一种高压缩、抗氧化的碳化钛柔性压力传感器,其特征在于,所述碳化钛柔性压力传感器的灵敏度达到7.8kPa-1,在0.25kPa施加压力下、响应时间为50ms;所述碳化钛柔性压力传感器的制备方法如下:1)湿法刻蚀Ti3AlC2制得多层Ti3C2,超声剥离得到超薄Ti3C2纳米片;2)将超薄Ti3C2纳米片与Na2S·9H2O混合进行水热反应,构建大尺寸、褶皱Ti3C2片材,记为TS;3)将TS分散在二甲基亚砜溶液中,混合离心,保留沉淀,得TS印刷墨水;4)在微电子打印设备平台上,利用导电银浆在柔性基底上印刷出Ag电极,干燥Ag电极,利用TS印刷墨水继续在Ag电极上打印出传感层,之后在传感层一侧继续打印一层Ag电极,将柔性基底剥离,得到AgTSAg三明治结构的柔性压力传感器;步骤4)中,传感层的厚度为15μm。

全文数据:

权利要求:

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