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一种对遗留结构进行复形产生新的纳米结构的方法 

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申请/专利权人:哈尔滨工程大学

摘要:本发明涉及一种对遗留结构进行复形产生新的纳米结构的方法,属于纳米结构压印技术领域。解决冷压印本身复杂性受限和模板制备复杂的问题。包括以下步骤:对材料进行压印,得到压制好的材料;对压制好的材料进行阳极氧化;去掉压制好的材料上的氧化层,得到残余的微纳结构;对微纳结构进行覆膜,得到压印模板;使用压印模板对另一材料进行压印,得到另一压制好的材料;对另一压制好的材料进行阳极氧化,得到第二氧化层。本发明极大的降低了模板制作所需的难度和成本;可以丰富其纳米结构的单元晶格多样性并降低制作成本。

主权项:1.一种对遗留结构进行复形产生新的纳米结构的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤一:对材料进行压印,得到压制好的材料;步骤一中,材料为铝片,用镍膜对铝片进行硬压印,采用4-5pa压强,持续时间为2min,可得到初步压制好的基底(11);步骤二:对压制好的材料进行阳极氧化;步骤二中,采用160V电压,磷酸:乙二醇:水=1:200:400的氧化液,氧化时间为1h,可附有第一氧化层(12);步骤三:去掉压制好的材料上的氧化层,得到残余的微纳结构;步骤三中,使用铬酸溶液去除第一氧化层(12),浸泡4-8h,可得到残余基底(11);步骤四:对微纳结构进行覆膜,得到压印模板;步骤四中,在基底(11)表面电镀一层30nm的涂覆层(13),涂覆层(13)为镍膜,一平方厘米的电镀电流为0.0003A,时间为500s,可以得到作为压印模板的结构;步骤五:使用压印模板对另一材料进行压印,得到另一压制好的材料;步骤五中,使用压印模板进行压印,压强为6-7Pa,时间为5min;步骤六:对另一压制好的材料进行阳极氧化;步骤六中,对压制好的被压基底(21)进行阳极氧化,可得到第二氧化层(22)。

全文数据:

权利要求:

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