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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方卓印科技有限公司

摘要：本发明提供一种真空干燥装置，其中该装置包括：容置箱体，其中至少两个表面上分别设置有抽气口；气体通路结构，包括多个接口连接部，每一所述接口连接部分别连接一个所述抽气口；抽真空泵，与所述气体通路结构连接，通过所述气体通路结构，所述抽真空泵与所述容置箱体连通，能够对所述容置箱体进行抽真空。采用该真空干燥装置，通过在容置箱体的至少两个表面分别设置抽气口，能够从容置箱体的不同位置抽离容置箱体内部空气，保证待干燥基板在干燥过程中容置箱体内部溶剂分布的均匀性，避免出现局部浓度过高，造成待干燥基板的中心区域和边缘区域由于溶剂氛围不同导致的膜厚不均匀问题。

主权项：1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：容置箱体，其中至少两个表面上分别设置有抽气口；气体通路结构，包括多个接口连接部，每一所述接口连接部分别连接一个所述抽气口；所述接口连接部包括与所述抽气口连接的接口部和与所述接口部连接的缓冲部，其中所述缓冲部的内径大于所述接口部的内径；在所述气体通路结构的内部，多个所述接口连接部相互连通；抽真空泵，与所述气体通路结构连接，通过所述气体通路结构，所述抽真空泵与所述容置箱体连通，能够对所述容置箱体进行抽真空；其中，所述容置箱体的第一表面上设置有所述抽气口，所述第一表面为所述容置箱体的顶面，所述第一表面上的所述抽气口包括一个第一抽气口和多个第二抽气口，其中所述第一抽气口设置在所述第一表面的第一区域，所述第二抽气口设置在所述第一表面上的第二区域，且每一所述第二区域上的第二抽气口为一个或多个；多个所述第二区域在所述第一区域的周围分布，所述第一区域上的所述第一抽气口的总开孔截面积，大于每一所述第二区域上的所述第二抽气口的总开孔截面积；其中，所述第一抽气口的直径大于第二抽气口的直径，所述第一区域为所述容置箱体内待干燥基板上的打印区域的中心相对的区域，所述第二区域与待干燥基板上的打印区域的边缘相对。

全文数据：真空干燥装置技术领域本发明涉及显示器制造技术领域，尤其是指一种真空干燥装置。背景技术目前，有机发光二极管OrganicLight-EmittingDiode,OLED又称为有机电激光显示、有机发光半导体的显示器制造时，通常采用打印方式制成显示器的膜层，而打印制成显示膜层后，有机湿膜的真空干燥VacuumDrying，VCD是决定膜厚均匀性的关键工艺。常规技术中，用于有机湿膜真空干燥的VCD设备在进行真空干燥时，由于待干燥基板的有机湿膜上沉积打印溶剂，在干燥过程中，打印溶剂蒸发，造成设备内部不同位置溶剂氛围不同，基板上干膜不均匀的问题，而且随着基板的增大，导致干膜的均匀性差异越明显。发明内容本发明技术方案的目的是提供一种真空干燥装置，用于解决采用现有技术真空干燥设备导致干燥所形成的干膜不均匀的问题。本发明实施例提供一种真空干燥装置，其中，包括：容置箱体，其中至少两个表面上分别设置有抽气口；气体通路结构，包括多个接口连接部，每一所述接口连接部分别连接一个所述抽气口；抽真空泵，与所述气体通路结构连接，通过所述气体通路结构，所述抽真空泵与所述容置箱体连通，能够对所述容置箱体进行抽真空。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述容置箱体的第一表面和第二表面上分别设置有所述抽气口；其中，所述第一表面为所述容置箱体的顶面，所述第二表面为所述第一表面的相邻表面。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述容置箱体的第三表面也设置有所述抽气口，其中所述第三表面与所述第二表面相对。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述第一表面上的所述抽气口包括第一抽气口和多个第二抽气口，其中所述第一抽气口设置在所述第一表面的第一区域，每一所述第二抽气口分别设置在所述第一表面上的一第二区域，且多个所述第二区域在所述第一区域的周围分布。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述第一区域上的所述第一抽气口的总开孔截面积，大于每一所述第二区域上的所述第二抽气口的总开孔截面积。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述接口连接部包括与所述抽气口连接的接口部和与所述接口部连接的缓冲部，其中所述缓冲部的内径大于所述接口部的内径。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述容置箱体的第四表面和第五表面上也分别设置有所述抽气口，其中所述第四表面与所述第五表面分别为所述第一表面的相邻表面，且所述第四表面与所述第五表面相对。可选地，所述的真空干燥装置，其中，所述容置箱体内设置有用于放置待干燥基板的承载台；其中，所述第二表面和所述第三表面上所设置的所述抽气口的高度大于所述承载台的高度。可选地，所述的真空干燥装置，其中，在所述容置箱体内还设置有冷凝板，其中所述冷凝板与所述承载台相对，且位于所述承载台的上方。可选地，所述的真空干燥装置，其中，在所述气体通路结构的内部，多个所述接口连接部相互连通。本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：本发明实施例所述真空干燥装置，在用于干燥的容置箱体上设置抽气口，利用相连接的气体通路结构通过抽真空泵对容置箱体进行抽真空，以抽离设置在容置箱体内的待干燥基板在干燥过程中所蒸发出的溶剂，由于在容置箱体的至少两个表面分别设置抽气口，因此能够从容置箱体的不同位置抽离容置箱体内部空气，保证待干燥基板在干燥过程中容置箱体内部溶剂分布的均匀性，避免出现局部浓度过高，造成待干燥基板在干燥后的膜厚不均匀的问题。附图说明图1为本发明实施例所述真空干燥装置的结构示意图；图2为本发明实施例所述真空干燥装置中，容置箱体的顶面结构的第一实施结构示意图；图3为本发明实施例所述真空干燥装置中，容置箱体的顶面结构的第二实施结构示意图；图4为本发明实施例所述真空干燥装置中，容置箱体的顶面结构的第三实施结构示意图。具体实施方式为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。为解决采用常规技术的VCD设备，在对打印后的有机湿膜进行干燥时，由于设备内部不同位置溶剂氛围不同，使得基板上干膜不均匀的问题，本发明实施例提供一种真空干燥装置，通过在用于有机湿膜干燥的容置箱体的至少两个表面上分别设置抽气口，并利用相连接的气体通路结构通过抽真空泵对容置箱体进行抽真空，使得有机湿膜在干燥过程中，容置箱体内不同位置的溶剂氛围分布均匀，从而保证干燥后所获得干膜的膜厚均匀。本发明实施例所述真空干燥装置的结构示意图如图1所示，其中，所述真空干燥装置包括：容置箱体100，其中至少两个表面上分别设置有抽气口101；气体通路结构200，包括多个接口连接部210，每一接口连接部210分别连接一个抽气口101；抽真空泵300，与气体通路结构200连接，通过气体通路结构200，抽真空泵300与容置箱体100连通，能够对容置箱体100进行抽真空。可选地，本发明实施例中，所述容置箱体100用于放置待干燥基板，具体地该待干燥基板可以为但不限于仅能够为OLED显示器制造过程中采用打印方式制成、沉积有机湿膜的显示基板。本发明实施例所述真空干燥装置，在用于有机湿膜干燥的容置箱体上设置抽气口，利用相连接的气体通路结构通过抽真空泵对容置箱体进行抽真空，以抽离待干燥基板在干燥过程中所蒸发出的溶剂，由于在容置箱体的至少两个表面分别设置抽气口，因此能够从容置箱体的不同位置抽离容置箱体内部空气，以保证待干燥基板在干燥过程中容置箱体内部溶剂分布的均匀性，避免出现局部浓度过高，造成待干燥基板在干燥后的膜厚不均匀的问题。本发明实施例中，可选地，如图1所示，容置箱体100的第一表面110和第二表面120上分别设置有抽气口101；其中，第一表面110为容置箱体100的顶面，第二表面120为第一表面110的相邻表面。可以理解的是，待干燥基板1放置于容置箱体100的内部时，通常呈水平状态，且待干燥基板1的有机湿膜朝上。需要说明的是，容置箱体100的顶面第一表面110为与待干燥基板1的有机湿膜相对的面，其中该第一表面110可以为平面，也可以为曲面。本发明实施例所述真空干燥装置，在容置箱体100的顶面第一表面110上设置抽气口101，以及在与顶面相邻的表面第二表面120上分别设置抽气口，使得能够在容置箱体100的顶面和表面上分别进行抽真空，以从容置箱体100的不同位置抽离容置箱体100内部的空气，避免待干燥基板1在干燥过程中容置箱体100内出现局部区域所蒸发出的溶剂浓度过高的问题。可选地，如图1和图2所示，容置箱体100的第三表面130上也设置有抽气口101，其中第三表面130与第二表面120相对。进一步，可选地，如图2所示，容置箱体100的第四表面140和第五表面150上也分别设置有抽气口101，其中第四表面140与第五表面150分别为第一表面110的相邻表面，且第四表面140与第五表面150相对。基于上述的方式，除了在容置箱体100的顶面设置抽气口101之外，在容置箱体100围绕顶面第一表面110的每一表面上也分别设置抽气口，以进一步地保证能够从容置箱体100的不同位置抽离容置箱体100内部的空气，避免容置箱体100内出现局部区域所蒸发出的溶剂浓度过高的问题。可选地，容置箱体100形成为六面体结构，在除底面外的其他表面上，可以均设置抽气口101，并利用气体通路结构200，抽真空泵300能够通过每一抽气口101对容置箱体100进行抽真空。可选地，容置箱体100的每一表面上所设置的抽气口101的数量可以为一个，也可以为至少两个，但无论数量为几个，需要保证气体通路结构200的每一接口连接部210分别连接一个抽气口101。本发明实施例中，可选地，如图2所示，在第一表面110上的抽气口101包括第一抽气口1011和多个第二抽气口1012，其中第一抽气口1011设置在第一表面110的第一区域111，每一第二抽气口1012分别设置在第一表面110上的一第二区域112，且多个第二区域112在第一区域111的周围分布。采用上述的结构，通过在第一表面110上，第一抽气口1011的外围分布设置多个第二抽气口1012，使得在容置箱体100的顶面上，能够从不同位置进行抽真空。可选地，第一区域111位于第一表面110的中间区域。另外，可选地，第一区域111可以为与容置箱体100内待干燥基板1的打印区域的中心相对的区域，第二区域112为与待干燥基板1的打印区域的中心不相对的区域，也即第二区域112与待干燥基板1的打印区域的边缘相对。为保证第一区域111能够有效抽除待干燥基板1的打印区域的中心上方的溶剂，第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积大于待干燥区域1的打印区域的中心区域的面积。另外，可选地，第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积，大于每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积。通过使第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积，大于位于第一区域111外围的每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积，使得在进行抽真空时，在单位时间内，通过第一区域111进行抽真空的抽气量大于通过第二区域112进行抽真空的抽气量。需要说明的是，待干燥基板1在干燥过程中，受扩散条件限制，在待干燥基板1的上方位置，中央区域的溶剂浓度高于边缘区域的溶剂浓度。本发明实施例中，通过使单位时间内，第一区域111进行抽真空的抽气量大于第二区域112进行抽真空的抽气量，第二区域112围绕第一区域111设置，也即保证待干燥基板1上方的中央区域抽真空的抽气量大于边缘区域抽真空的抽气量，能够保证在容置箱体100内部待干燥基板1上方每一位置的蒸发溶剂更加均匀，避免出现局部区域所蒸发出的溶剂浓度过高，解决现有技术打印基板的中心区域和边缘区域由于溶剂氛围不同导致的膜厚不均匀问题。在第一表面110上，可选地，第一区域111所设置的第一抽气口1011的数量可以为一个，也可以为至少两个；同样，每一第二区域112所设置的第二抽气口1012可以为一个，也可以为至少两个。其中，无论第一抽气口1011的数量为几个，第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积为第一区域111上所设置的全部的第一抽气口1011的开孔截面积之和；同理，无论每一第二区域112上所设置的第二抽气口1012的数量为几个，每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积为相对应该第二区域112上所设置的全部的第二抽气口1012的开孔截面积之和。举例说明，如图3所示，其中一实施方式中，第一区域111上所设置的每一第一抽气口1011和第二区域112上所设置的每一第二抽气口1012的直径可以相同，但第一区域111上所设置的第一抽气口1011的数量多于第二区域112上所设置的第二抽气口1012的数量，从而使得第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积，大于每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积。可选地，如图4所示，另一实施方式中，第一区域111上所设置的第一抽气口1011和第二区域112上所设置的第二抽气口1012的数量相同，如均为一个，但第一区域111上所设置的第一抽气口1011的直径大于第二区域112上所设置的第二抽气口1012的直径，从而使得第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积，大于每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积。需要说明的是，上述关于第一区域111上设置第一抽气口1011和第二区域112上设置第二抽气口1012的具体实施结构仅为举例说明，具体并不以此为限，例如第一区域111上可以设置一个第一抽气口1011，第二区域112上可以设置多个第二抽气口1012，如图2所示，只要能够保证第一区域111上的第一抽气口1011的总开孔截面积，大于每一第二区域112上的第二抽气口1012的总开孔截面积即可。本发明实施例中，可选地，如图1所示，气体通路结构200的每一接口连接部210包括与抽气口101连接的接口部211和与接口部211连接的缓冲部212，其中缓冲部212的内径大于接口部211的内径。通过使气体通路结构200在与抽气口101相连接的接口连接部210上设置内径逐渐降低的缓冲部212和接口部211，达到调节通过抽气口101进行抽真空的抽气流速的目的。本发明实施例中，如图1所示，容置箱体100内设置有用于放置待干燥基板1的承载台102和冷凝板103，其中冷凝板103与承载台102相对，且位于承载台102的上方。具体地，该冷凝板103为低温有机溶剂冷凝板，承载台102具有高温，且承载台102与冷凝板102之间的温差在10度左右。另外，承载台102上还设置有多个用于支撑待干燥基板1的升降柱104，容置箱体100的内部还设置有用于进行真空度测量的真空表。可选地，第二表面120、第三表面130、第四表面140和第五表面150上所设置的抽气口101的高度大于承载台102的高度，以保证通过第二表面120、第三表面130、第四表面140和第五表面150上所设置的抽气口101能够对承载台102上方的空间进行有效地抽真空。可选地，第二表面120、第三表面130、第四表面140和第五表面150上分别所设置的抽气口101可以为一个，也可以为至少两个。可选地，本发明实施例所述真空干燥装置，在气体通路结构200的内部，多个接口连接部210相互连通。通过在气体通路结构200的内部形成相互连通的通道，使抽真空泵300能够通过气体通路结构200将抽真空气流均匀分散至容置箱体100内，以保证抽真空气流的稳定性和均匀性。需要说明的是，用于容置箱体100内抽真空的抽真空泵300的数量可以为一个，也可以为至少两个，当抽真空泵300的数量为至少两个时，可以每一抽真空泵300分别连接一个气体通路结构200，每一气体通路结构200分别连接至容置箱体100。本发明实施例所述真空干燥装置，能够应用于OLED显示器制作时有机膜层打印后的干燥。采用本发明实施例所述真空干燥装置，结合图1所示，在对打印后的有机膜层干燥时，将待干燥基板1设置于容置箱体100内的承载台102上，并使承载台102和冷凝板103分别达到相对应的特定温度，两者温度差别在10度左右，待干燥基板1上有机膜层的溶剂蒸发能够沉积至冷凝板103，且同时开启抽真空泵300，通过容置箱体100上的多个抽气口101对容置箱体100抽真空，使抽真空气流均匀分散至容置箱体100的内部，保证容置箱体100内不同位置的溶剂氛围分布均匀，从而使得待干燥基板1被干燥后所获得干膜的膜厚均匀，避免出现局部浓度过高，造成待干燥基板在干燥后的膜厚不均匀的问题，以提高打印所制成显示基板的性能的目的。以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述原理前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：容置箱体，其中至少两个表面上分别设置有抽气口；气体通路结构，包括多个接口连接部，每一所述接口连接部分别连接一个所述抽气口；抽真空泵，与所述气体通路结构连接，通过所述气体通路结构，所述抽真空泵与所述容置箱体连通，能够对所述容置箱体进行抽真空。2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述容置箱体的第一表面和第二表面上分别设置有所述抽气口；其中，所述第一表面为所述容置箱体的顶面，所述第二表面为所述第一表面的相邻表面。3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述容置箱体的第三表面也设置有所述抽气口，其中所述第三表面与所述第二表面相对。4.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一表面上的所述抽气口包括第一抽气口和多个第二抽气口，其中所述第一抽气口设置在所述第一表面的第一区域，每一所述第二抽气口分别设置在所述第一表面上的一第二区域，且多个所述第二区域在所述第一区域的周围分布。5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一区域上的所述第一抽气口的总开孔截面积，大于每一所述第二区域上的所述第二抽气口的总开孔截面积。6.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述接口连接部包括与所述抽气口连接的接口部和与所述接口部连接的缓冲部，其中所述缓冲部的内径大于所述接口部的内径。7.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述容置箱体的第四表面和第五表面上也分别设置有所述抽气口，其中所述第四表面与所述第五表面分别为所述第一表面的相邻表面，且所述第四表面与所述第五表面相对。8.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述容置箱体内设置有用于放置待干燥基板的承载台；其中，所述第二表面和所述第三表面上所设置的所述抽气口的高度大于所述承载台的高度。9.根据权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，在所述容置箱体内还设置有冷凝板，其中所述冷凝板与所述承载台相对，且位于所述承载台的上方。10.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，在所述气体通路结构的内部，多个所述接口连接部相互连通。

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