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一种不良片的回用方法 

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申请/专利权人:通威太阳能(成都)有限公司

摘要:本申请公开了一种不良片的回用方法,属于太阳电池技术领域,方法包括:对若干不良片胶膜层进行全曝光处理,以使若干不良片的胶膜层均被固化;对曝光处理后的不良片进行碱洗,以去除胶膜层;对碱洗后的不良片进行铜种子层的去除;对去除铜种子层的不良片进行蓝膜层的去除,得到回用硅片,完成回用。通过与制备工序逆向的顺序逐层去除掩膜材料、铜种子层和蓝膜,使得硅片能够回用,填补目前镀铜工艺产生的不良片的回用方法空白,降低了生产成本。

主权项:1.一种不良片的回用方法,其特征在于,所述不良片包括基体和包裹层,所述基体包括硅片及依次堆叠于所述硅片至少一侧面的蓝膜层和铜种子层,所述包裹层包括胶膜层,所述胶膜层设于所述铜种子层远离所述蓝膜层一侧,若干所述不良片包括第一不良片、第二不良片和第三不良片中的至少两种,所述第一不良片的所述胶膜层包括固化胶膜,所述第二不良片的所述胶膜层包括非固化胶膜,所述第三不良片的所述胶膜层包括固化胶膜和非固化胶膜;所述方法包括:对若干所述不良片所述胶膜层进行全曝光处理,以使若干所述不良片的胶膜层均被固化;对曝光处理后的所述不良片进行碱洗,以去除胶膜层;对碱洗后的所述不良片进行铜种子层的去除;对去除铜种子层的所述不良片进行蓝膜层的去除,得到回用硅片,完成回用。

全文数据:

权利要求:

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