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二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法 

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申请/专利权人:珠海迈时光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法,涉及分束器件技术领域。二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组,二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。本发明实施例的偏振分束器件,相较于传统的偏振分束器件,提出将偏振元件分成若干区域,不同区域对入射光具有不同方向的偏振响应,最终在远场目标位置获得所需的偏振分束效果,可将激光光束分裂成多个光束,打破了衍射公式的周期限制,可实现基于入射偏振的特定偏振分束,基于类似光栅的相结构,将光束衍射成离散的阶数,这与传统的分束不同,具有更好的分束效果。

主权项:1.一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件,其特征在于,包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组,所述二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。

全文数据:

权利要求:

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