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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种喷淋盘通气流量检测设备，包括气动控制组件、对接组件和装夹组件，喷淋盘固定在装夹组件上，气动控制组件的输出端通过对接组件能够将气体输送至喷嘴和或通气孔内；气动控制组件包括与喷嘴和或通气孔的数量对应的气管，气管延伸至对接组件的出口，且能够与喷嘴和或通气孔一一对应并吸附；气动控制组件还包括用于控制气管通断的阀岛单元，阀岛单元的输入端与外界气源连接，输出端通过气管与喷嘴和或通气孔连接。检测气体通过气动控制组件的入口进入气管中，通过对接组件的传递被输送至喷淋盘中，实现喷淋盘的通气流量的检测。本发明提供的喷淋盘通气流量检测设备提高了测试结果的稳定性，同时节省人工成本提高了工作效率。
主权项：1.一种喷淋盘通气流量检测设备，用于检测喷淋盘上的喷嘴和或通气孔的流量，其特征在于，所述喷淋盘通气流量检测设备包括气动控制组件、对接组件以及装夹组件，所述喷淋盘固定在所述装夹组件上，所述气动控制组件的输出端通过所述对接组件能够将气体输送至所述喷嘴和或通气孔内；所述气动控制组件包括与所述喷嘴和或通气孔的数量对应的气管，所述气管延伸至所述对接组件的出口，且能够与所述喷嘴和或通气孔一一对应并吸附；所述气动控制组件还包括用于控制所述气管通断的阀岛单元，所述阀岛单元的输入端与外界气源连接，所述阀岛单元的输出端通过所述气管与所述喷嘴和或通气孔连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种喷淋盘通气流量检测设备
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