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申请/专利权人：特许机器株式会社
摘要：本发明提供伺服型振动检测器以及伺服型振动检测器的评价方法。在现有伺服型加速度传感器的情况下，不得不在同时满足1共振峰值的降低、2响应性的提高、3传感器灵敏度提高的上述三个相反的课题的较窄的范围内构成传感器。因此，在性能提高上是有限的。通过在电极的相对移动面形成流通孔、流通槽等，使电极间空隙部中的动态流体压力引起的机械衰减作用降低，并且将该衰减作用置换为伺服放大器中的基于电路的等效的衰减单元，能够独立地设定由以往处于折衷关系的电极的间隙、外径确定的传感器灵敏度和传感器动态特性。
主权项：1.一种伺服型振动检测器，其特征在于，具备：作为固定构件的壳体；可动构件，设置成能够相对于所述壳体在规定方向上移动；弹性构件，将所述可动构件支承为相对于所述壳体隔着空隙部配置；位移检测部，检测所述可动构件的规定方向的位移；驱动单元，在由所述位移检测部检测到所述可动构件从原点位置的相对位移的情况下，由伺服放大器驱动，以产生使所述可动构件返回到原点位置的产生力；可动侧电极，设置于所述可动构件；以及固定侧电极，与所述可动侧电极对置地设置于所述壳体侧，所述位移检测部构成为检测由所述可动侧电极与所述固定侧电极之间的空隙部形成的静电电容，在所述可动侧电极和所述固定侧电极的相对移动面形成有与大气连通的槽部或孔部，以降低在所述可动侧电极与所述固定侧电极之间的空隙部产生的动态流体压力引起的衰减作用，在所述伺服放大器设置有基于电路的衰减单元，以补偿所述衰减作用的降低。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 特许机器株式会社 伺服型振动检测器以及伺服型振动检测器的评价方法
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