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申请/专利权人：微传科技有限公司
摘要：本发明公开的平板基板加热装置包括：模块支撑板，在上表面设置有多个单位模块区域；多个垂直腔面发射激光器模块，分别放置在上述模块支撑板的单位模块区域，具有多个垂直腔面发射激光器VCSEL器件；供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给电力；以及电极端子，使得上述垂直腔面发射激光器模块和供电基板可分离地固定在上述模块支撑板的上表面和下表面并使它们电连接，上述模块支撑板在内部形成有冷却水供给部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给冷却水。
主权项：1.一种平板基板加热装置，其特征在于，包括：模块支撑板，在上表面设置有多个单位模块区域；多个垂直腔面发射激光器模块，具有多个垂直腔面发射激光器器件，分别放置在上述模块支撑板的单位模块区域；供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给电力；以及电极端子，将上述垂直腔面发射激光器模块和供电基板以能够分离的方式固定在上述模块支撑板的上表面和下表面并使它们电连接，上述模块支撑板在内部形成有冷却水供给部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给冷却水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 微传科技有限公司 设置有垂直腔面发射激光器模块的平板加热装置
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