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申请/专利权人：英诺赛科(苏州)半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及实验室辅助治具的技术领域，提供一种SIMS多功能载样台，包括载台、卡槽台和盖板；卡槽台设置于所述载台上，盖板设置于卡槽台上，且盖板与卡槽台可拆卸连接；其中，卡槽台上具有多个用于对样品限位的卡槽单元，每一卡槽单元内至少具有一个卡槽口，盖板上具有与卡槽口对应的多个分析窗口。本实用新型通过在卡槽台上具有多个卡槽单元，每一卡槽单元内具有至少一用于样品限位的卡槽口，卡槽台上具有多个样品限位区，能够同时对多个样品实现观测分析，解决了相关技术中难以实现多个样品同时测量的问题。
主权项：1.一种SIMS多功能载样台，其特征在于，包括：载台1、卡槽台2和盖板3；所述卡槽台2设置于所述载台1上，所述盖板3设置于所述卡槽台2上，且所述盖板3与所述卡槽台2可拆卸连接；其中，所述卡槽台2上具有多个用于对样品限位的卡槽单元，每一所述卡槽单元内至少具有一个卡槽口22，所述盖板3上具有与所述卡槽口22对应的分析窗口31。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 SIMS多功能载样台
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