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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开一种基于热收缩的纳米金属过孔互连方法，包括以下步骤：1采用张紧装置，使得基板处于拉应力的状态；2将纳米金属颗粒填充到基板的通孔中，直到纳米金属颗粒充满整个通孔；3在可控气体下，对基板进行升温烧结；在烧结的过程中，通过张紧装置使得拉应力逐渐减小，基板逐渐收缩，对通孔中的纳米金属颗粒进行挤压；4对填充完成的基板表面进行打磨或者抛光处理。该方法该热收缩的条件下，对纳米金属进行挤压，使得填充的纳米金属颗粒具有较高的致密性，减少了填孔中加工缺陷，使得纳米金属结构稳定，提高了纳米金属的导电与导热性能；且该方法操作简单、效率更高，还能减少环境污染。
主权项：1.一种基于热收缩的纳米金属过孔互连方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）采用张紧装置，使得基板处于拉应力的状态，使得基板向两边扩张，从而使得基板中的通孔也进行扩张；（2）将纳米金属颗粒填充到基板的通孔中，直到纳米金属颗粒充满整个通孔；（3）在可控气体下，对基板进行升温烧结；在烧结的过程中，通过张紧装置使得拉应力逐渐减小，基板逐渐收缩，对通孔中的纳米金属颗粒进行挤压；（4）对填充完成的基板表面进行打磨或者抛光处理；步骤（1）中，选择具有热收缩性质的材料或者热膨胀系数为负数的材料作为基板；在步骤（3）中，在烧结的过程中，通过控制烧结的温度改变基板与纳米金属颗粒的热收缩率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种基于热收缩的纳米金属过孔互连方法
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