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一种窄薄金属带压延装置 

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申请/专利权人:河南理工大学

摘要:本申请涉及集成电路技术领域,提供了一种窄薄金属带压延装置。该装置通过在丝线材压延前后采用高精度伺服张力控制机构控制主动放线、收线机构,实现压延过程中丝线材均匀稳定,压延前后通过在线激光测量仪测量压延前丝线材直径和压延后宽度的变化,自动调整下压量,从而获得高精度的窄薄金属带材;同时,在压延前设置高精度在线加热管式炉,在线实现丝线材的性能调控,获得满足性能要求的窄薄金属带材,实现了高精度、性能可控的窄薄金属带的工业化生产。

主权项:1.一种窄薄金属带压延装置,其特征在于,包括:依次布置的放线单元、加热单元、压延单元和收线单元;所述放线单元上设置有第一伺服张力自动控制机构,用于自动调节丝线材的放线速度;所述加热单元通过电阻加热丝对由所述放线单元放出的所述丝线材进行加热;所述压延单元用于将由所述加热单元加热后的所述丝线材进行压延成型为窄薄金属带;所述收线单元用于对由所述压延单元压延后成型后的窄薄金属带进行收卷,所述收线单元上设置有第二伺服张力自动控制机构,用于自动调节所述窄薄金属带的收卷速度;所述加热单元与所述压延单元之间设置有第一激光测量仪,所述压延单元与所述收线单元之间设置有第二激光测量仪;其中,所述第一激光测量仪用于对由所述加热单元加热后进入所述压延单元的丝线材的直径进行实时在线监测;所述第二激光测量仪用于对所述压延单元压延后成型后的所述窄薄金属带的宽度进行实时在线监测。

全文数据:

权利要求:

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