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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明提供了一类基于Photo‑Fries重排反应的单分子树脂非化学放大型光刻胶。涉及式（I）所示的化合物，其原料便宜易得、合成过程简单；可作为单组分非化学放大光刻胶，所得到的图案具有高的分辨率和低的线宽粗糙度，可以很好地满足高分辨光刻的要求。
主权项：1.一种如下式I所示的化合物： 其中，每个R1、R2相同或不同，各自独立地选自基团Z；Z选自H、未取代或任选被一个、两个或更多个RS取代的如下基团：C1-15烷基、C1-15烷氧基、C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基、3-20元杂环基、-C1-15烷基-C6-20芳基、-C1-15烷基-5-20元杂芳基、-C1-15烷基-CO-C6-20芳基、-C1-15烷基-CO-5-20元杂芳基、-C1-15烷基-CO-C1-15烷基、-C1-15烷基-CO-C3-20环烷基；Ra选自-OCOR1或如上所述基团Z；m选自0、1、2、3或4；n选自0、1、2、3或4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于Photo-Fries重排反应的单分子树脂非化学放大型光刻胶
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