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申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种陶瓷旋转靶材镶配绑定方法，涉及溅射镀膜领域，旨在解决常规陶瓷管靶易裂、无法重复使用的问题，方案为S1、背管喷砂；S2、靶管加工；S3、背管冷冻处理：在背管外表面平铺铜网固定，将背管吊至真空冷冻槽内，冷冻槽内注入液氮使温度保持在‑150～‑180℃，背管冷冻；S4、靶管位置固定：将靶管摆放至镶配模具内对应位置，盖上镶配模具上模，两端用螺丝拧紧固定；S5、靶管背管冷镶配：将背管从冷冻槽中移入靶管内，使之与靶管相对位置匹配，待背管在常温环境下恢复温度，与靶管贴合。本发明的一种陶瓷旋转靶材镶配绑定方法工艺绑定率高、结合强度高、背管可重复利用且无需绑定焊料、成本低廉。
主权项：1.一种陶瓷旋转靶材镶配绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、背管喷砂：选用喷砂胶带固定在背管两端口相应位置做喷砂遮护，对背管外径进行喷砂处理；S2、靶管加工：靶管内外径机加工至相应尺寸，靶管内径砂轮打磨处理；S3、背管冷冻处理：将背管吊至真空冷冻槽内，冷冻槽的真空度为10-1～10-2Pa，冷冻槽内注入液氮使温度保持在-150～-180℃，背管冷冻时间为2～4h；S4、靶管位置固定：镶配模具与冷冻槽平行，打开镶配模具上模，将靶管摆放至镶配模具内对应位置，盖上镶配模具上模，两端用螺丝拧紧固定；S5、靶管背管冷镶配：将背管从冷冻槽中吊出移入靶管内相应的位置，使之与靶管相对位置完全匹配，待背管在常温环境下恢复温度，因热胀冷缩尺寸变大而与靶管完全贴合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基迈克材料科技(苏州)有限公司 一种陶瓷旋转靶材镶配绑定方法
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