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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:一种半导体装置包括:有源图案阵列,其包括位于衬底上的有源图案;第一接触结构,其位于每个有源图案的中心部分上;位线结构,其位于第一接触结构上;第二接触结构,其位于每个有源图案的端部;第三接触结构,其位于第二接触结构上;填充图案,其位于位线结构和第三接触结构之间并且包括空隙;以及电容器,其电连接到第三接触结构。有源图案阵列包括在第一方向上彼此间隔开的有源图案行,并且每个有源图案行包括在第二方向上彼此间隔开的有源图案。每个有源图案在第三方向上延伸,并且每个有源图案行中的有源图案在第二方向上对齐。
主权项:1.一种半导体装置,包括:有源图案阵列,其包括位于衬底上的有源图案;第一接触件,其位于所述有源图案中的每一个的中心部分上;位线,其位于所述第一接触件上;第二接触件,其位于所述有源图案中的每一个的端部上;第三接触件,其位于所述第二接触件上;填充图案,其位于所述位线和所述第三接触件之间,所述填充图案中包括空隙;以及电容器,其电连接到所述第三接触件,其中所述有源图案阵列包括在平行于所述衬底的上表面的第一方向上彼此间隔开的有源图案行,所述有源图案行中的每一个包括在平行于所述衬底的所述上表面并正交于所述第一方向的第二方向上彼此间隔开的多个有源图案,所述有源图案中的每一个在与所述第一方向和所述第二方向形成锐角的第三方向上延伸,并且所述有源图案行的每个行中的所述多个有源图案在所述第二方向上彼此对齐。
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