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申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
摘要：一种硅片清洗机酸碱排风管道结晶清理系统，包括雾化器和连接在雾化器上的水雾输送管道，水雾输送管道与硅片清洗机的排风管道连通；水雾输送管道包括水雾输送总管和分设在水雾输送总管末端的多条水雾输送支管，排风管道包括排风总管和多条排风支管，每条水雾输送支管对应连通一条排风支管；每条排风支管上均设置有排风阀，水雾输送支管与排风支管的连接点位于排风阀的下游，水雾输送总管上安装有第一控制阀和第一压力计，且第一压力计位于第一控制阀的下游。通过本实用新型能够解决现有技术中硅片清洗机酸碱排风管道清洗不便的技术问题。
主权项：1.一种硅片清洗机酸碱排风管道结晶清理系统，其特征在于，包括雾化器1和连接在雾化器1上的水雾输送管道2，水雾输送管道2与硅片清洗机6的排风管道11连通；水雾输送管道2包括水雾输送总管201和分设在水雾输送总管201末端的多条水雾输送支管202，排风管道11包括排风总管1102和多条排风支管1101，每条水雾输送支管202对应连通一条排风支管1101；每条排风支管1101上均设置有排风阀9，水雾输送支管202与排风支管1101的连接点位于排风阀9的下游，水雾输送总管201上安装有第一控制阀3和第一压力计4，且第一压力计4位于第一控制阀3的下游。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种硅片清洗机酸碱排风管道结晶清理系统
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