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申请/专利权人：电化株式会社
摘要：本发明的一个方面为氮化硼粒子的制造方法，其具备：反应工序，将包含硼酸酯的第1气体和包含氨的第2气体从筒状的反应器的一端面各自分别地导入反应器内，在反应器内，使硼酸酯与氨于750℃以上进行反应，得到氮化硼粒子的前体；和，加热工序，将氮化硼粒子的前体于1000℃以上进行加热，得到氮化硼粒子，在反应工序中，以反应器的侧面位于将第1气体导入反应器内的第1方向的延长线上的方式将第1气体导入反应器内，并且以反应器的侧面位于将第2气体导入反应器内的第2方向的延长线上的方式将第2气体导入反应器内。
主权项：1.氮化硼粒子的制造方法，其具备：反应工序，将包含硼酸酯的第1气体和包含氨的第2气体从筒状的反应器的一端面各自分别地导入所述反应器内，在所述反应器内，使所述硼酸酯与所述氨于750℃以上进行反应，得到氮化硼粒子的前体；和加热工序，将所述氮化硼粒子的前体于1000℃以上进行加热，得到氮化硼粒子，在所述反应工序中，以所述反应器的侧面位于将所述第1气体导入所述反应器内的第1方向的延长线上的方式将所述第1气体导入所述反应器内，并且以所述反应器的侧面位于将所述第2气体导入所述反应器内的第2方向的延长线上的方式将所述第2气体导入所述反应器内，其中，在将所述反应器的从所述一端面向另一端面延伸的延伸方向与所述第1方向所成的角度设为θ1时，tanθ1为1.2以上，在将从所述反应器的所述一端面向另一端面延伸的延伸方向与所述第2方向所成的角度设为θ2时，tanθ2为1.2以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电化株式会社 氮化硼粒子及其制造方法
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