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申请/专利权人：韩国标准科学研究院
摘要：本发明涉及正交入射椭圆仪以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。本发明的目的是提供：正交入射椭圆仪，其中，使用波长不相关线性偏振器代替波长相关补偿器，使得简化了设备校准过程，同时可以容易地实现测量波长范围的扩展；以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。
主权项：1.一种正交入射椭圆仪，包括：光源，其包括准直光学系统，并且朝向样本发射入射准直光束；分束器，其设置在所述光源与所述样本之间，并且沿垂直于所述样本的表面的方向引导所述入射准直光束的一部分；固定偏振器，其设置在所述分束器与所述样本之间，并且以预设的方位角固定，以允许仅所述入射准直光束沿预设方向的线性偏振分量穿过所述固定偏振器；恒定旋转偏振器，其设置在所述固定偏振器与所述样本之间，并且以恒定速度旋转，以根据恒定旋转频率规则地调制所述入射准直光束的偏振状态；光电检测器元件，其一旦接收到从所述样本反射的反射准直光束就测量光谱辐射通量的暴露值；恒定旋转分析仪，其设置在所述样本与所述光电检测器元件之间，并且以恒定速度旋转，以根据恒定旋转频率规则地调制所述反射准直光束的偏振状态；固定分析仪，其设置在所述恒定旋转分析仪与所述光电检测器元件之间，并且以预设的方位角固定，以允许仅所述反射准直光束沿预设方向的线性偏振分量穿过所述固定分析仪；以及处理器，其控制所述固定偏振器和所述固定分析仪的所述方位角、所述恒定旋转偏振器和所述恒定旋转分析仪的恒定角速度，并且通过分析由所述光电检测器元件测量的所述光谱辐射通量的所述暴露值来计算所述样本的光学性质，其中，所述固定偏振器和所述固定分析仪一体地形成为一个不具有波长相关性的线性偏振器，并且所述线性偏振器去除关于所述入射准直光束和所述反射准直光束的偏振状态误差，并且其中，所述恒定旋转偏振器和所述恒定旋转分析仪一体地形成为一个不具有波长相关性的恒定旋转线性偏振器，并且所述恒定旋转线性偏振器调制所述入射准直光束的偏振状态和所述反射准直光束的偏振状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 韩国标准科学研究院 正交入射椭圆仪以及使用其测量样本的光学性质的方法
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