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申请/专利权人：光硕光电科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种探针台及探针台调针装置，包括探针，所述探针的外部设置有调节机构，所述调节机构包括直板，所述直板的两端均开设有凹槽，两个所述凹槽的内部均活动连接有球头，两个所述凹槽的内部均开设有球槽，所述球槽的内部与球头的外表面活动连接，两个所述球头的外表面均固定连接有固座，两个所述固座的外表面均固定连接有伸缩杆，涉及半导体检测技术领域，解决了现有探针台调针装置使用时，由于通过人工进行调针，且需要反复调整夹片松紧，容易导致夹片和螺丝连接松动，影响探针的稳定性，同时人工调节存在效率低以及精度差，从而影响探针检测效果的问题。
主权项：1.一种探针台调针装置，包括探针（1），其特征在于：所述探针（1）的外部设置有调节机构，所述调节机构包括直板（2），所述直板（2）的两端表面均开设有凹槽（3），两个所述凹槽（3）的内部均活动连接有球头（4），两个所述凹槽（3）的内部均开设有球槽（7），所述球槽（7）的内部与球头（4）的外表面活动连接，两个所述球头（4）的外表面均固定连接有固座（8），两个所述固座（8）的外表面均固定连接有伸缩杆（9），一侧所述伸缩杆（9）的输出端与探针（1）的外表面固定连接，所述凹槽（3）的内部设置有两个转辊（10），两个所述转辊（10）的旋转方向相互垂直；两个所述转辊（10）的外表面均套设有胶套（11），两个所述胶套（11）的外表面均与球头（4）的外表面相抵接，两个所述转辊（10）的外表面均固定连接有驱动电机（12），两个所述驱动电机（12）的外表面均与凹槽（3）的内部滑动连接；所述球头（4）的内部设置有辅助组件（5），所述辅助组件（5）包括内腔（51），所述内腔（51）开设在球头（4）的本体上，所述内腔（51）的内部设置有螺旋线圈（52），所述螺旋线圈（52）通过磁力活动连接有磁柱（54），所述磁柱（54）的外表面与转辊（10）的外表面嵌入固定连接。
全文数据：
权利要求：
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