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申请/专利权人：明澈生物科技(苏州)有限公司
摘要：本发明提供了一种基于法布里‑珀罗干涉微腔的导丝尖端三维力传感器，涉及医疗器械技术领域；包括底盘、光学测量结构，以及设置于所述底盘与所述光学测量结构之间的微柱；所述光学测量结构上设置有薄膜与法布里‑珀罗干涉微腔，且所述薄膜位于所述微柱与所述法布里‑珀罗干涉微腔之间。本发明提供的基于法布里‑珀罗干涉微腔的导丝尖端三维力传感器，基于光学传感技术，采用法布里‑珀罗干涉原理来实现对接触力的检测反馈，具有灵敏度高且电磁无缘的特性，从而能够抗电磁干扰、与磁共振成像技术兼容，有助于其在医学领域的应用。
主权项：1.一种基于法布里-珀罗干涉微腔的导丝尖端三维力传感器，其特征在于，包括底盘（1）、光学测量结构（2），以及设置于所述底盘（1）与所述光学测量结构（2）之间的微柱（3）；所述光学测量结构（2）上设置有薄膜（21）与法布里-珀罗干涉微腔（22），且所述薄膜（21）位于所述微柱（3）与所述法布里-珀罗干涉微腔（22）之间；所述光学测量结构（2）包括底板（23），所述法布里-珀罗干涉微腔（22）设置于所述底板（23）的上端，所述微柱（3）连接于所述底板（23）的下端；所述法布里-珀罗干涉微腔（22）与所述微柱（3）之间形成所述薄膜（21）；所述光学测量结构（2）还包括与所述底板（23）相连的侧壁（24）；所述底板（23）与所述侧壁（24）围合构成光纤容纳腔（25）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 明澈生物科技(苏州)有限公司 一种基于法布里-珀罗干涉微腔的导丝尖端三维力传感器
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