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申请/专利权人：研微(江苏)半导体科技有限公司
摘要：本公开提供一种肋骨结构及石英腔体组件，所述肋骨结构包括多个肋条，多个所述肋条依次首尾连接形成多边形的框架结构以套设在石英腔体的外侧，所述肋骨结构中至少一个所述肋条的厚度设置为小于预定值或者至少一个所述肋条为厚度渐变结构。本公开实施例通过对肋条的结构实现调整以达到在满足石英腔强度的前提下，降低肋板高度，从而降低卤素灯在晶圆和支撑结构上形成的阴影，改善温场。
主权项：1.一种肋骨结构，其特征在于，所述肋骨结构包括多个肋条，多个所述肋条依次首尾连接形成多边形的框架结构以套设在石英腔体的外侧，所述肋骨结构中至少一个所述肋条的厚度设置为小于预定值或者至少一个所述肋条包括厚度渐变结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 研微(江苏)半导体科技有限公司 一种肋骨结构以及石英腔体组件
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