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用于实时变形场测量的偏振相移相干梯度传感装置及方法 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本申请实施例提出了用于实时变形场测量的偏振相移相干梯度传感装置及方法,包括激光调制组件,其发出激光至待测光学表面;反射光束经棱镜组件反射至偏振组件,其包括沿反射光束的光路方向依次设置起偏器、透射光栅组和滤波透镜;透射光栅组包括前偏振透射光栅和后偏振透射光栅,反射光束在前偏振透射光栅上发生衍射,透过前偏振透射光栅的衍射光束在后偏振透射光栅上再次发生衍射形成干涉光束;干涉光束经滤波透镜汇聚为衍射斑;图像采集处理系统以采集衍射斑进行偏振相移相干梯度传感测量和后处理计算。本申请能够精确有效地实现待测物体变形场的实时精确测量且原理简单,并缩小了传统相干梯度传感器体积,扩展了相干梯度传感器的使用范围。

主权项:1.用于实时变形场测量的偏振相移相干梯度传感装置,其特征在于,包括激光调制组件,其发出激光至待测光学表面且经过所述待测光学表面反射后的反射光束为准直状态;偏振组件;所述反射光束经棱镜组件反射至所述偏振组件,其包括沿所述反射光束的光路方向依次设置起偏器、透射光栅组和滤波透镜;所述透射光栅组包括前偏振透射光栅和后偏振透射光栅,所述反射光束在所述前偏振透射光栅上发生衍射,透过所述前偏振透射光栅的衍射光束在所述后偏振透射光栅上再次发生衍射形成干涉光束;所述干涉光束经所述滤波透镜汇聚为衍射斑;以及图像采集处理系统,沿所述反射光束的光路方向其设置在所述滤波透镜下游,用以采集所述衍射斑进行偏振相移相干梯度传感测量和后处理计算。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 清华大学 用于实时变形场测量的偏振相移相干梯度传感装置及方法

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