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申请/专利权人：镭神技术(深圳)有限公司
摘要：本申请涉及蝶形分布器件的加电压紧结构及散热测试系统，探针组件包括穿过探针组件水冷板的至少三个探针，且各探针的探测端位于底板与探针组件水冷板之间；半导体制冷片组件设置于底板上且位于探针组件下；产品抽屉可拆卸地设于半导体制冷片组件上，产品抽屉以蝶形分布方式承载至少二待测试芯片；气缸下压组件与水冷探针组件驱动连接，带动探针组件水冷板朝向产品抽屉运动，以使各探针的探测端与各待测试芯片相抵接或分离。在进行加电测试时通过水冷探针组件配合半导体制冷片组件实现双面快速散热，有利于提升测试效率，在测试中保护了待测试芯片，避免待测试芯片因系统散热能力不足而导致损坏，确保了测试的有效性及结果的合理性。
主权项：1.一种蝶形分布器件的加电压紧结构（100），其特征在于，包括气缸下压组件（200）、水冷探针组件（300）、半导体制冷片组件（400）及产品抽屉（500）；所述水冷探针组件（300）包括底板（310）、探针组件水冷板（320）及探针组件（330），所述探针组件（330）包括穿过所述探针组件水冷板（320）的至少三个探针（331），且各所述探针（331）的自由端（332）位于所述底板（310）与所述探针组件水冷板（320）之间；所述半导体制冷片组件（400）设置于所述底板（310）上，且位于所述探针组件（330）下；所述产品抽屉（500）可拆卸地设置于所述半导体制冷片组件（400）上，且位于所述探针组件（330）下，所述产品抽屉（500）用于以蝶形分布方式承载至少二待测试芯片（600）；所述气缸下压组件（200）与所述水冷探针组件（300）驱动连接，用于带动所述探针组件水冷板（320）朝向所述产品抽屉（500）运动，以使各所述探针（331）的自由端（332）与各所述待测试芯片（600）相抵接或分离。
全文数据：
权利要求：
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