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申请/专利权人：苏州茂特斯自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及晶圆分拣领域，尤其涉及一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构及矫正方法。包括基座，基座上设置有转塔，所述转塔围绕自身轴线设置有吸嘴组件，以及基座上对应吸嘴组件设置的矫正组件；所述吸嘴组件具有能够吸附产品的吸头；所述矫正组件包括具有动力的矫正轮，所述矫正轮的轴线与吸头轴线平行并与吸头抵接，带动吸头围绕吸头的轴线旋转，从而在不直接接触产品的前提下改变产品的空间姿态。本发明将用于吸附产品的吸头构造为可以相对转塔独立旋转的零件，使得矫正设备可以将矫正产品角度的作用力施加到吸头上，间接带动产品旋转改变角度。从而避免矫正设备与产品直接接触，导致如晶圆之类精密脆弱的产品受损。
主权项：1.一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构，包括基座（1），所述基座（1）上设置有转塔（3），所述转塔（3）围绕自身轴线设置有角度检测相机、吸嘴组件（4），以及基座（1）上对应吸嘴组件（4）设置的矫正组件（5）；其特征在于，所述吸嘴组件（4）具有能够吸附产品的吸头（41）；所述矫正组件（5）包括具有动力的矫正轮（52），所述矫正轮（52）的轴线与吸头（41）轴线平行并与吸头（41）抵接，带动吸头（41）围绕吸头（41）的轴线旋转，从而在不直接接触产品的前提下改变产品的空间姿态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州茂特斯自动化设备有限公司 一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构及矫正方法
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