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角度分辨光谱测量系统及标定方法 

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申请/专利权人:广州贝拓科学技术有限公司

摘要:本发明公开了一种角度分辨光谱测量系统及标定方法。所述系统包括:显微镜机架,所述显微镜机架上安装有显微镜物镜;位于所述显微镜机架上方且沿垂直方向分层设置的反射入射组件、成像组件和信号检测组件;所述反射入射组件形成进入显微镜物镜的反射入射光路,所述成像组件形成对显微镜物镜出射光进行成像的成像光路,所述信号检测组件形成对显微镜物镜出射光进行信号检测的信号检测光路;还设有形成主光路的主光路组件,所述主光路组件包括BFP透镜、与所述反射入射光路、所述成像光路和所述信号检测光路共用的分束器;所述反射入射组件包括科勒照明系统或角分辨光谱模块。能够提高光谱测量效率和测量精度。

主权项:1.一种角度分辨光谱测量系统,其特征在于,包括:显微镜机架,所述显微镜机架上安装有显微镜物镜;位于所述显微镜机架上方且沿垂直方向分层设置的反射入射组件、成像组件和信号检测组件;所述反射入射组件形成进入显微镜物镜的反射入射光路,所述成像组件形成对显微镜物镜出射光进行成像的成像光路,所述信号检测组件形成对显微镜物镜出射光进行信号检测的信号检测光路;还设有形成主光路的主光路组件,所述主光路组件包括BFP透镜以及与所述反射入射光路、所述成像光路和所述信号检测光路共用的分束器;所述反射入射组件包括科勒照明系统或角分辨光谱模块;所述反射入射组件的角分辨光谱模块包括依光路依次设置的反射入射光纤、反射入射光平移电机、反射入射光透镜、反射入射光光阑和分束器;所述成像组件包括依光路依次设置的分束器、相机成像系统和相机;所述信号检测组件包括依光路依次设置的分束器、光纤耦合系统、出射光平移电机和出射光纤。

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