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申请/专利权人：华灿光电(苏州)有限公司
摘要：本公开公开了一种连接管及氯气刻蚀设备，属于氯气刻蚀设备改造技术领域。所述连接管包括：第一管道和第二管道；第一管道包括U型管，U型管的第一端口与氯气刻蚀设备的尾气处理装置相连，U型管的第二端口与氯气刻蚀设备的刻蚀炉腔体相连，U型管的弯曲管段的管壁具有开口；第二管道的一端口与所述开口相连，第二管道的另一端口具有可拆卸地盲板。本公开通过连接管中设置第一管道和第二管道，第一管道包括U型管，U型管的管壁具有开口，第二管道的一端口与所述开口相连，使得刻蚀炉腔体产生的残留物由开口从U型管进入第二管道，再通过第二管道进行清理。及时清理刻蚀产生的残留物，避免残留物腐蚀连接管，延长连接管的使用寿命。
主权项：1.一种连接管，其特征在于，应用于氯气刻蚀设备，所述连接管包括：第一管道1和第二管道2；所述第一管道1包括U型管11，所述U型管11的第一端口与所述氯气刻蚀设备的尾气处理装置500相连，所述U型管的第二端口与所述氯气刻蚀设备的刻蚀炉腔体400相连，所述U型管11的弯曲管段的管壁具有开口111；所述第二管道2的一端口与所述开口111相连，所述第二管道2的另一端口具有可拆卸地盲板24。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华灿光电(苏州)有限公司 连接管及氯气刻蚀设备
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