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申请/专利权人：捷造科技(宁波)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种大面积showerhead部件屏蔽机构，包括：上盖板与下盖板，所述上盖板与下盖板组合形成内部空腔结构，在所述下盖板的内部底面的边际区域阵列分布有多个弹触单元，所述弹触单元包括至少一个压缩弹簧，所述压缩弹簧使所述上盖板与下盖板有活动间隙，在所述压缩弹簧的一侧设置对应的导电铜片，所述导电铜片为具有一定宽度的立式C字型结构，且开口朝向为环绕所述边际区域的方向。本实用新型的优点是：屏蔽了边缘效应和驻波效应，避免Showerhead四周出现镀膜不均的现象，做到四个区域的镀膜互不影响，解决绕镀和边缘效应的问题。
主权项：1.一种大面积showerhead部件屏蔽机构，其特征在于，包括：上盖板与下盖板，所述上盖板与下盖板组合形成内部空腔结构，在所述下盖板的内部底面的边际区域阵列分布有多个弹触单元，所述弹触单元包括至少一个压缩弹簧，所述压缩弹簧使所述上盖板与下盖板有活动间隙，在所述压缩弹簧的一侧设置对应的导电铜片，所述导电铜片为具有一定宽度的立式C字型结构，且开口朝向为环绕所述边际区域的方向。
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权利要求：
百度查询： 捷造科技(宁波)有限公司 一种大面积showerhead部件屏蔽机构
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