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申请/专利权人：富士胶片电子材料(苏州)有限公司
摘要：一种半导体化学品盛装容器清洗及干燥装置，包括安装支架，所述安装支架上转动连接有承托盘，所述安装支架与所述承托盘之间固定设置有驱动机构，所述安装支架上固定设置有喷嘴，所述喷嘴位于所述承托盘的中间，所述承托盘上具有排液机构，所述承托盘上还固定设置有夹紧机构，所述喷嘴与所述安装支架之间固定设置有清洗机构；通过将承托盘转动设置，在冲洗容器时容器转动，使容器内壁可以均匀且充分的被冲洗到，减少了所需的超纯水的用量，进而降低了成本；通过设置测温计与加热箱，使得可以针对不同的化学品调节超纯水的温度，便于化学品的溶解，减少了超纯水的用量，降低了成本。
主权项：1.一种半导体化学品盛装容器清洗及干燥装置，包括安装支架（1），其特征在于：所述安装支架（1）上转动连接有承托盘（2），所述安装支架（1）与所述承托盘（2）之间固定设置有驱动机构，所述安装支架（1）上固定设置有喷嘴（3），所述喷嘴（3）位于所述承托盘（2）的中间，所述承托盘（2）上具有排液机构，所述承托盘（2）上还固定设置有夹紧机构，所述喷嘴（3）与所述安装支架（1）之间固定设置有清洗机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片电子材料(苏州)有限公司 一种半导体化学品盛装容器清洗及干燥装置
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