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申请/专利权人：柏耕(厦门)科技有限公司

摘要：本实用新型公开了一种晶片边缘表面抛光装置，由底板、支撑柱、支撑柱顶部固设的工作台以及工作台顶部中端固设的真空吸盘所组成的支架，支撑柱外部下端转动套设的驱动组件，可控制驱动组件顶部固设的夹持组件对晶片的周边进行夹持处理，夹持组件内部固设的抛光组件，可将晶片的边缘进行抛光处理。本实用新型可对不同直径的晶片的边缘进行抛光处理，不仅确保了抛光片对晶片边缘的抛光效果，还避免晶片在抛光的过程中出现碎片现象的发生，即避免晶片的损坏，提高了晶片生产过程中的安全性。通过收集功能的设计，将晶片在抛光过程中产生的粉尘进行收集处理，对车间的环境起到防护处理，对工作人员的身心健康也起到防护处理。

主权项：1.一种晶片边缘表面抛光装置，其特征在于：由底板（1）、支撑柱（2）、支撑柱（2）顶部固设的工作台（3）以及工作台（3）顶部中端固设的真空吸盘（4）所组成的支架，所述的支撑柱（2）外部下端转动套设的驱动组件（5），可控制驱动组件（5）顶部固设的夹持组件（6）对晶片的周边进行夹持处理，所述的夹持组件（6）内部固设的抛光组件（7），可将晶片的边缘进行抛光处理；所述的驱动组件5包括转动套设于支撑柱2外部下端的圆板（501），且圆板（501）底部环绕固设有第一齿条（502），所述的底板（1）顶部左侧固设有自锁功能的第一电机（503），且第一电机（503）首端固设的第一齿轮（504）与第一齿条（502）轮齿啮合，所述的夹持组件（6）包括环绕固设于圆板（501）顶部且为四件数量的安装杆（601），所述的安装杆（601）顶部固设的套体（602）的内部转接有转杆（603），所述的转杆（603）与安装杆（601）内部转接的连接杆（604）通过紧配套设的皮带（605）进行串联，所述的皮带（605）贯穿于套体（602），且转杆（603）外部螺纹套设的滑块（606）与套体（602）滑接相连，所述的圆板（501）顶部环绕转接的第二齿条（607）与连接杆（604）内侧固定套设的第二齿轮（608）轮齿啮合，所述的圆板（501）顶部右侧固设的第三电机（609）具有正反转以及自锁功能，且第三电机（609）首端固设的第三齿轮（610）与第二齿条（607）外部环绕固设的第三齿条（611）轮齿啮合，所述的抛光组件（7）包括固设于滑块（606）两端的连接销（701），且连接销（701）的另一端固设有第二电机（702），所述的第二电机（702）首端固设的转轴（703）转动贯穿于套体（602），所述的第二电机（702）内侧的两端固设的安装销（704）贯穿于套体，且安装销（704）远离第二电机（702）的一端固设有弧形走向的夹板（705），且夹板（705）内侧内嵌转接有多个数量的滚珠（706），所述的转轴（703）外部远离第二电机（702）的一端滑动套设有连接套（707），所述的安装销（704）两两之间固设的连接板（708）转动套设于连接套（707），且连接板（708）的外侧以及内侧设置的限位板（709）固定套设于连接套（707），所述的连接套（707）内侧固设有抛光片（710）。

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