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申请/专利权人：株式会社爱发科
摘要：本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其无需实施防水加工就可对内管内部件进行电力供给。具有绕轴线旋转驱动靶Tg的第1驱动装置92的旋转式阴极单元Rc用驱动块DB具有中空管4，所述中空管4具有从内管3向轴线方向延伸的直线部；第1内筒体5，其外套在中空管的直线部上，限定与内管内的冷媒循环通道Fp2连通的第1通道Fp3；第2内筒体6，其外套在第1内筒体上，限定与靶和内管之间的冷媒循环通道Fp1连通的第2通道Fp4；以及外筒体7，其经轴承Br2外嵌在第2内筒体上，与靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置Sv1～Sv3，其在内管一端连结中空管的状态下使彼此连通的内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
主权项：1.一种旋转式阴极单元用驱动块，其与旋转式阴极单元的靶的轴线方向一端连结，绕轴线旋转驱动靶，所述旋转式阴极单元具有：筒状的靶，其配置在真空气氛中；以及内管，其插入该靶，形成与真空气氛隔绝的空间；在靶和内管之间以及内管内设置冷媒循环通道，所述驱动块还具有对靶施加旋转力的第1驱动装置，以从靶的轴线方向一端朝轴线方向另一端的方向为X轴方向后方，以从靶的轴线方向另一端朝轴线方向一端的方向为X轴方向前方，所述驱动块的特征在于，具有：中空管，其插入内管且以与该内管的内周面之间的间隙形成内管内的冷媒循环通道，并具有从内管向轴线方向前方延伸的直线部；第1内筒体，其外套在中空管的直线部上，且其轴线方向后方侧的端部与内管连接，以与该中空管之间的间隙限定与内管内的冷媒循环通道连通的第1通道；第2内筒体，其外套在第1内筒体上，以与该第1内筒体的外周面之间的间隙限定与靶和内管之间的冷媒循环通道连通的第2通道；以及外筒体，其经轴承外套在第2内筒体上，与所述靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置，使内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社爱发科 旋转式阴极单元用驱动块
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