龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：武汉高芯科技有限公司
摘要：本发明属于真空封装方式的结构设计与制备方法，具体涉及一种非制冷红外探测器的阵列及其真空封装方法，通过沉积、图形化、旋涂、刻蚀、镀膜等技术的使用使得微盖支撑层和增透膜层共同形成密闭微盖，在中空锚柱孔内形成支撑柱，支撑柱对微盖形成支撑，像元阵列结构整体封装在密闭微盖内，微盖内为满足探测器结构工作的真空环境，有效避免的微型真空腔腔内无支撑的问题，解决了真空腔易破裂的问题，提高了阵列级真空封装的可靠性，具有良好的应用前景。
主权项：1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底（1）；在衬底（1）上形成像元阵列，所述像元阵列包括多个像元，每个像元包括中空锚柱（6）以及支撑在中空锚柱（6）上的微桥结构（7）；在中空锚柱（6）的空腔内部及上方形成支撑柱（13）具体包括：在像元阵列上形成牺牲层，并刻蚀中空锚柱（6）的空腔内部及上方的牺牲层材料形成通孔；在通孔底部形成第一种子层金属（10），采用电镀方式在通孔内形成支撑柱（13）；形成微盖结构，支撑柱（13）对微盖结构进行支撑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉高芯科技有限公司 一种红外探测器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号