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申请/专利权人：格拉普希尔公司
摘要：本发明涉及用于形成包括石墨烯的器件5的方法，该方法包括以下步骤：步骤S1，在基板2上形成石墨烯膜1；步骤S2，在石墨烯膜1上沉积功能化材料3，功能化材料配置为改变石墨烯膜1的物理化学特性，功能化材料的沉积配置为部分地覆盖石墨烯膜1；步骤S3，气相沉积覆盖石墨烯膜1和功能化材料3的聚合物材料4；和步骤S4，去除基板2，使得聚合物材料4形成对石墨烯膜1的支撑。
主权项：1.一种用于形成包括石墨烯的器件5的方法，所述方法包括以下步骤：-步骤S1，在基板2上形成石墨烯膜1；-步骤S2，在所述石墨烯膜1上沉积功能化材料3，所述功能化材料配置为改变所述石墨烯膜1的物理化学特性，所述功能化材料的沉积配置为部分地覆盖所述石墨烯膜1，使得所述石墨烯膜1的至少一部分未被所述功能化材料覆盖；-步骤S3，气相沉积覆盖所述石墨烯膜1和所述功能化材料3的聚合物材料4，使得所述聚合物材料4与未被所述功能化材料覆盖的所述石墨烯膜1的至少一部分接触；-步骤S4，去除所述基板2，使得所述聚合物材料4形成对所述石墨烯膜1的支撑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 格拉普希尔公司 用于形成包括石墨烯的器件的方法
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