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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种基于激光诱导等离子体刻蚀的钙钛矿图案化方法，其步骤为：于二氧化硅基底上制作含氟聚合物的约束层；激光诱导干法刻蚀对约束层和二氧化硅基底进行图案化；用钙钛矿量子点填涂上述图案化样品；剥离约束层，完成钙钛矿图案化。本发明用激光诱导等离子体刻蚀的方法实现钙钛矿图案化显示，操作简便，成本较低，能够有效提高钙钛矿的稳定性和寿命，并且可以调控图案，封装保存。
主权项：1.一种基于激光诱导等离子体刻蚀的钙钛矿图案化方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：于二氧化硅基底上制作含氟聚合物的约束层；步骤2：激光诱导干法刻蚀对约束层和二氧化硅基底进行图案化；步骤3：用钙钛矿量子点填涂上述图案化样品；步骤4：剥离约束层，完成钙钛矿图案化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种基于激光诱导等离子体刻蚀的钙钛矿图案化方法
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