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申请/专利权人：株式会社荏原制作所

摘要：本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及存储介质。信息处理装置制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表。信息处理装置包括：基板处理时间获取部，基于配方信息来获取研磨时间及精加工时间；搬送处理时间获取部，获取搬送时间；以及计划表制作部，将处理顺序条件、同时处理条件、以及对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使最后一片基板的最终处理结束时间成为最短设为数学最优化的目标函数，进行决定各处理的开始时机的数学最优化，由此制作基板处理计划表。

主权项：1.一种信息处理装置，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：一个或多个研磨单元，进行所述基板的研磨处理，并且能够进接至用于所述基板的交接的研磨单元交接位置；一个或多个精加工单元，进行所述研磨处理后的基板的精加工处理；第一搬送单元，进行研磨处理前搬送处理，所述研磨处理前搬送处理是将所述研磨处理前的基板从第一搬送开始位置搬送至第一搬送结束位置；第二搬送单元，包括多个搬送机构，所述搬送机构进行研磨处理前搬入处理以及研磨处理后搬出处理，所述研磨处理前搬入处理是将所述研磨处理前的基板从移送机器人交接位置搬送至所述研磨单元交接位置，所述研磨处理后搬出处理是将所述研磨处理后的基板从所述研磨单元交接位置搬送至所述移送机器人交接位置；第三搬送单元，进行研磨处理后搬送处理，所述研磨处理后搬送处理是将所述研磨处理后的基板从第三搬送开始位置搬送至所述精加工单元；供给排出机器人，进行基板供给处理以及基板排出处理，所述基板供给处理是从基板匣盒取出所述研磨处理前的基板并供给至所述第一搬送单元，所述基板排出处理是从所述精加工单元接收所述精加工处理后的基板并收纳于所述基板匣盒中；以及移送机器人，进行研磨处理前移送处理以及研磨处理后移送处理，所述研磨处理前移送处理是在所述第一搬送结束位置从所述第一搬送单元接收所述研磨处理前的基板并在所述移送机器人交接位置交接至所述第二搬送单元，所述研磨处理后移送处理是在所述移送机器人交接位置从所述第二搬送单元接收所述研磨处理后的基板并在所述第三搬送开始位置交接至所述第三搬送单元，所述信息处理装置包括：基板处理时间获取部，基于表示所述研磨处理及所述精加工处理的处理内容的配方信息，获取所述研磨处理所需的研磨时间及所述精加工处理所需的精加工时间；搬送处理时间获取部，获取所述基板供给处理、所述研磨处理前搬送处理、所述研磨处理前移送处理、所述研磨处理前搬入处理、所述研磨处理后搬出处理、所述研磨处理后移送处理、所述研磨处理后搬送处理、及所述基板排出处理各自所需的搬送时间；以及计划表制作部，将对进行所述各处理的顺序进行规定的处理顺序条件、对所述各处理中的能或不能同时进行的处理进行规定的同时处理条件、以及对相对于所述研磨处理后移送处理使所述研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使在变量中包含所述研磨时间及所述精加工时间以及所述搬送时间的、最后一片所述基板的最终处理结束时间成为最短设为所述数学最优化的目标函数，进行决定所述各处理的开始时机的所述数学最优化，由此制作所述基板处理计划表。

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