首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种光罩颗粒物的去除方法、系统、设备及存储介质 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:粤芯半导体技术股份有限公司

摘要:本发明公开了一种光罩颗粒物的去除方法、系统、设备及存储介质,通过对光罩进行扫描处理,确定光罩上的颗粒物信息,其中,颗粒物信息包括颗粒物数量,以及每个颗粒物对应的颗粒物大小和颗粒物坐标;根据颗粒物数量,以及每个颗粒物对应的颗粒物大小和颗粒物坐标,判断光罩上的颗粒是否会对曝光造成影响;当检测到光罩上的颗粒物会对曝光造成影响时,依次选取光罩上目标颗粒物对应的目标颗粒物坐标,根据目标颗粒物坐标,控制吸真空枪口移动到目标颗粒物所在位置后,基于吸真空枪口对目标颗粒物进行真空吸取处理,直至光罩上目标颗粒物对应的目标颗粒物坐标被选取完毕;与现有技术相比,本发明的技术方案能提高对光罩颗粒物的去除效率和去除效果。

主权项:1.一种光罩颗粒物的去除方法,其特征在于,包括:对光罩进行扫描处理,确定所述光罩上的颗粒物信息,其中,所述颗粒物信息包括颗粒物数量,以及每个颗粒物对应的颗粒物大小和颗粒物坐标;根据所述颗粒物数量,以及所述每个颗粒物对应的颗粒物大小,判断所述光罩上的颗粒是否会对曝光造成影响;当检测到所述光罩上的颗粒物会对曝光造成影响时,依次选取所述光罩上目标颗粒物对应的目标颗粒物坐标,根据所述目标颗粒物坐标,控制吸真空枪口移动到所述目标颗粒物所在位置后,基于所述吸真空枪口对所述目标颗粒物进行真空吸取处理,直至所述光罩上目标颗粒物对应的目标颗粒物坐标被选取完毕。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 粤芯半导体技术股份有限公司 一种光罩颗粒物的去除方法、系统、设备及存储介质

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

相关技术
相关技术
相关技术
相关技术