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申请/专利权人：北京泽声科技有限公司
摘要：本发明公开一种基于LiTaO3薄膜的热释电探头及其制备方法，属于半导体器件领域。所述热释电探头包括热释电层，所述热释电层相对的两个面上分别形成有上电极和下电极，并且下电极穿过热释电层和一个上电极相连；其中热释电层为LiTaO3薄膜。该热释电探头的制备方法为：提供热释电层，所述热释电层通过底座支撑，在所述热释电层的第一面形成第一电极；对所述底座开槽，暴露出所述热释电层的第二面，在所述热释电层的第二面上形成第二电极。本发明通过在热释电层的两面形成电极并将下电极引出，实现两面信号的对外连通。
主权项：1.一种基于LiTaO3薄膜的热释电探头，包括热释电层，其特征在于，所述热释电层的第一面和第二面分别形成有第一电极和第二电极；其中，所述热释电层的第一面和所述热释电层的第二面相对；所述第一电极从所述热释电层的第一面贯穿所述热释电层，与所述第二电极相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京泽声科技有限公司 一种基于LiTaO3薄膜的热释电探头及其制备方法
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